精密配件镀DLC

热稳定性 由于DLC属亚稳态的材料，热稳定性差是限制DLC膜应用的一个重要因素，在300℃以上退火时即出现了sp3键向sp2键转变，为此，人们进行了大量的工作试图提高其热稳定性。有研究发现：Si的加入可以明显改善DLC膜的热稳定性，含20 at%Si的DLC膜在740℃退火时才出现sp3键向sp2键转变[15]。同样，金属（如Ti、W、Cr）的掺入也可提高DLC膜的热稳定性，我们正在对这方面进行研究。

力学性能 a.硬度及弹性模量。不同的沉积方法制备的DLC膜硬度及弹性模量差异很大，用磁过滤阴极电弧法可以制备出硬度达到甚至**过金刚石的DLC膜[10]，广州有色金属研究院用阴极电弧法制备的DLC膜高硬度可达50GPa以上，而用离子源结合非平衡磁控溅射法制备的DLC膜硬度达21GPa。膜层内的成分对膜层的硬度有一定的影响， Si、N的掺入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有较高的弹性模量，虽低于金刚石（110GPa），但明显**一般金属和陶瓷的弹性模量。 b.内应力和结合强度。薄膜的内应力和结合强度是决定薄膜的稳定性和使用寿命，影响薄膜性能的两个重要因素，内应力高和结合强度低的DLC膜容易在应用中产生裂纹、褶皱，甚至脱落，所以制备的DLC膜好具有适中的压应力和较高的结合强度。大部分研究表明，直接在基体上沉积的DLC膜的膜/基结合强度一般比较低，广州有色金属研究院通过采用Ti/TiN/TiCN/TiC中间梯度过渡层的方法提高DLC膜与基体的结合强度，在模具钢上沉积DLC膜的结合强度达44N-74N，制备的膜导总体厚度可达5um。

低温技术真空PVD镀膜服务,PVD涂层,TiN涂层 ,TiCN涂层,TiAlN涂层, CrN涂层,DLC涂层,TiAlCrN涂层。其中DLC涂层工艺温度为80~150度,其它涂层均小于280度 公司为新加坡独资企业,公司的技术为自主**(US11/041,789)的低温PVD涂层技术(磁控阴极弧及强化磁控溅射),涂层时工作温度<300度,涂层具有更好的综合性能,此技术是PVD技术领域的突破,目前用的PVD技术均为高温技术,涂层温度均在450度以上。此技术有效解决了高温所带来的种种端,如高温回火,材料变形,焊缝开裂,脱落等等。

弹簧钢及T i6A l4V球表面经真空蒸发离子束镀膜处理后形成了光滑、致密的DLC薄膜, 摩擦学试验结果表明, DLC 薄膜降低了基体材料的摩擦因数, 改善了摩擦学性能。磨损表面的SEM 和AFM 分析表明, DLC 薄膜的表面磨损较轴承钢为轻, 表现出轻微的磨损痕迹, 表明弹簧钢基体经真空蒸发离子束技术处理后, 表面摩擦学性能获得**改善。AFM 分析还表明, T i6A l4V 球表面镀DLC 薄膜后,磨痕表面比磨损前原始表面平整光滑, 表面粗糙度小, 其摩擦学性能在摩擦过程中进一步得到改善。